磁场探针台：出厂测试报告

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DX1PS3晶圆级全自动面内磁场探针台主要用于测试半导体材料、微纳器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电学和磁学性能，可提供不高于330 mT的一维面内磁场环境，并进行高精度的直流/射频测量。

DX1PS3 Wafer Level Automatic In-plane Magnetic Field Probe Station

DX1PS3晶圆级全自动面内磁场探针台

产品出厂检验报告		测试人员	项目经理
产品出厂检验报告		平高	李辉
测试日期	2024.12.31	测试产品数量	1
测试温度和湿度	23℃/45%	测试软件版本	V1.0.0.1
结论	合格
设备状态确认：机器试验于2024年12月31日完成。

产品清单

设备名称：晶圆级全自动面内磁场探针台
型号：DX1PS3
序列号：MPS1DDL01
No.	名称	规格型号	数量
1	探针台主机	内部集成部件如下： 1、330mT面内场电磁铁； 2、行程300mm的X轴自动/手动一体位移台； 3、行程300mm的Y轴自动/手动一体位移台； 4、行程10mm的Z轴自动/手动一体位移台； 5、12寸样品台chuck吸盘； 6、显微镜升降调节支架。	1台
2	磁铁电源	DXMP-20/40，输入电压单相220V-50/60Hz；输出电压±20A，输出电流±40V	1台
3	探针座	X/Y/Z行程均为±6mm，调节分辨率±1微米，真空吸附	4套
4	探针夹具	漏电精度达10pA，最大电流1A，耐压700V，最高频率1MHz，1.5m三同轴电缆线， BNC标准接口,同轴公接头	4套
5	直流探针	针尖直径0.5微米，可测最大直流1A	20只
6	控制电脑	DELL牌，I5CPU，内存16G，256G固态硬盘+1T机械硬盘，23.8寸显示器，英文版windows系统，预装探针台测量软件。	1台
7	无油真空泵	VP0125，输入电压单相220V-50/60Hz，流量7L/min	1台
8	单筒显微镜	输入电压单相220V-50/60Hz，高清成像连续变倍且无需改变工作高度，同轴光照明，工作距离>80mm，3mm微调焦，更大放大倍率0.75X~5X，相机帧率30帧，USB2.0输出，500万像素，支持手动/自动RGB 调节白平衡，13英寸显示器。	1台
9	气浮平台	台面尺寸800*1200，含气泵，输入电压单相220V-50/60Hz	1套
10	水冷机	输入电压单相220V-50/60Hz，制冷量1200W	1台
11	冷却液		25千克
12	显微镜校准工装		1件
13	产品说明书		1份
14	发货清单		1份

1. 实例行项目检查

测试项目	要求	方法	频率	结论	测定
1.1外观检查	外观整洁，色彩整体协调	目视检查	100%	合格的	是
1.2 零件检查	整体结构稳定，各部件连接顺畅	目视和手动操作检查	100%	合格的	是
1.3 电气系统检查	电气连接足够安全	目视和手动操作检查	100%	合格的	是
1.4 零件检查	该软件运行流畅，没有任何滞后或卡顿	目视和手动操作检查	100%	合格的	是

2. 安全检查

测试项目	要求	方法	频率	结论	测定
2.1	磁体温控在温度超过65°C时自动停止供电，并软件报警	目视和手动操作检查	100%	合格的	是
2.2	它有“小心：磁场”等警告标志。	目视和手动操作检查	100%	合格的	是
2.3	水冷机循环运行已超过48小时，未发现漏水现象。	目视和手动操作检查	48小时	合格的	是

3. 光学元件检测

测试项目	要求	方法	频率	结论	测定
3.1	显微镜工作正常。	目视检查	100%	合格的	是

4. 磁场测试

测试项目	要求	方法	频率	结论	测定
4.1	磁场强度高于330mT	用高斯计测试	100%	合格的	是
4.2	1mm直径范围内磁场均匀性优于1%	软件-程序控制和高斯计测试	100%	合格的	是
4.3	磁场分辨率优于0.02 mT	软件-程序控制和高斯计测试	100%	合格的	是
4.4	具有测量磁滞回线的功能	软件-程序控制和高斯计测试	100%	合格的	是

Test interface of Magnetoresistance

磁阻测试界面

注：

1. 测试数据不得修改或删除。

2. 测试结论合格用“Y”表示；不合格用“N”表示。

DX1PS3晶圆级自动面内磁场探针台

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