DX-100 全自动霍尔效应测试系统

DX-100 霍尔效应系统由电磁铁、电磁铁电源、高精度恒流源、高精度电压表、霍尔效应样品支架、标准样品、高低温杜瓦,控温仪,系统软件组成。为本仪器系统专门研制的DX-320效应仪将恒流源,六位半微伏表及霍尔测量复杂的切换继电器——开关组装成一体,大大减化了实验的连线与操作。DX-320可单独做恒流源、微伏表使用。用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数,而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的,因此霍尔效应测试系统是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必备的工具。

     DX-100 霍尔效应系统由电磁铁、电磁铁电源、高精度恒流源、高精度电压表、霍尔效应样品支架、标准样品、高低温杜瓦,控温仪,系统软件组成。为本仪器系统专门研制的DX-320效应仪将恒流源,六位半微伏表及霍尔测量复杂的切换继电器——开关组装成一体,大大减化了实验的连线与操作。DX-320可单独做恒流源、微伏表使用。用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数,而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的,因此霍尔效应测试系统是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必备的工具。实验结果由软件自动计算得到,可同时得到体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、磁滞电阻(Magnetoresistance)等。

 

 

 

 

可测试材料

 

 

系统产品详细技术参数:

序号

名称

主要技术参数

产品图片

仪器1

DX-100

电磁铁

1、磁场强度(Magnet Flux Density)

N,S间距10mm时最大磁场1900mT

N,S间距20mm时最大磁场1300mT

N, S间距30mm时最大磁场900mT

N, S间距40mm时最大磁场 800mT

N, S间距50mm时最大磁场 600mT

  1. 磁场均匀区(Uniformity):间隙10mm时直径20mm范围均匀度为1%

3、电磁铁参数

3.1、极柱直径φ:100mm

3.2、极头直径φ:60mm

3.3、极头间隙可调范围:0 ~ 100mm

3.4、线圈内阻:10.0Ω

3.5、磁场稳定性:±0.3Gs(24h时间内)

3.6、自重:110Kg

3.7、自带移动车轮,可根据客户需要随意变动放置位置

仪器2

DX-2030

恒流源

1、输出电压:有效输出电压范围 0V—100V DC,开路输出电压为120V ± 8V @10A

2、输出电流:–10A ~ +10A DC(电流线性渐变速率0.01A/s—2A/s连续可选)

3、高步进分辨率0.1mA(1/100000 F.S.)

4、准确度 ±0.2%设置值+5mA)、

稳定度优于±0.1% @10A

5、噪声/纹波:10mA RMS 典型值 @10A

6、 RS-232接口可数控极性转换,方便进行自动化试验过程

7、交互能力: 白色背光FSTN LCD显示器,必备的LED状态指示器,与显示器和指示器配合的3´4键交互型功能键盘操作,标准配备RS-232C计算机接口和易用的接口特性,完备的计算机接口命令集,扫描过程中的定时连续触发输出功能

8、负载保护功能:仪器掉电保护、仪器过温保护、仪器过流保护、仪器过功率保护

仪器3

DX-150

高斯计

1、量程:±0.1Gs ~ ±30kGs

2、分辨率:0.1Gs

3、精度:读数的±0.3%±0.05%量程

4、测磁传感器厚度为1.0mm,长度为100mm

5、人机交互:明亮的宽屏高清液晶屏,

4¾位显示,标准9针“D”型RS232连接器

6、自动化:完备的计算机指令,可通过数据通讯,实时在电脑界面监测并控制测试样品周围的磁场环境

仪器4

DX-320

样品恒流源

1、电流输出基本分辨力0.0001uA,电压测量基本分辨力0.0001mV

2、输出量程:50.00nA-50.00mA中间可以0.1nA步进连续可调

3、测量电压:0~±3V大量程测试电压满足高阻芯片的测试

4、内置自动变换的四相阵卡,可实现霍尔效应范德堡法的自动测量

5、良好的人机交互界面,方便使用者进行手动调节

6、完备的上位机指令,可与电脑进行通讯完成各项操作

仪器5

可选

恒源器

(高低温)

1、液氮恒温器温度测试范围:80K ~ 800K(测量速率达20次/秒)

2、测温精度:全量程范围内为0.1K(PT100 铂电阻)

3、测温方法:四引线电阻法

4、真空度:关闭阀门后可保持腔体内部小于0.1Pa

5、接插件:标准用DP14针插头,其中四芯用于温度传感器,两芯用于加热器,剩余八芯测量线供使用者从恒温器连接到测量仪表,可自行定义。

仪器6

可选

控温仪

1、测控温温区:1.4 K--- 1000 K(具体范围需依据使用温度计的型号而定)

2、控温误差:小于0.05%F.S ±1个字(可对温漂、时漂进行自动补偿)

3、分辨率:1/60000

4、加热功率输出:过零开断的位式调节,0-- 24V,最大 2A滤波直流输出

5、可提供两路PID型温度控制,最大输出功率为100W

仪器7

电脑笔记本及上位机软件

1、可实现一键自动化测量,检测开始后无需人员进行操作即可进行测量。

2、在软件中进行设置可进行自动变温测量。

3、软件中可进行I-V曲线、B-V曲线以及测量的各个半导体参数对于温度t的曲线图

4、软件内进行的模块化设计,方便客户使用以及进行相关功能的开发5、实验结果测量完成,数据将暂时保存在软件中,如需要长期保存可将数据导出至EXCEL表格中,方便后期的数据处理

6、提供中国科学院半导体所霍尔效应标准测试样片及数据:1套

仪器8

配套仪器装置

1、标准600mm*600mm*1000mm(长*宽*高)箱式机柜,内置6芯插排,数量和功率均满足各使用仪器电源的同时使用要求

2、标准接口用FX-8型号机械真空泵,速度可达:3L/S

3、恒温器固定装置,带滑轨可实现恒温器带动样片的移动。

4、磁场传感器探头固定装置:全铝非导体支架5-70mm可调

5、温度测量与控制连接线固定装置

6、制作样品上欧姆接触焊点的相应工具:电烙铁、铟片、焊锡、漆包线等

 

                

 

图片参考:

 

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