磁场探针台
DX1PS3晶圆级全自动面内磁场探针台主要用于测试半导体材料、微纳器件、磁性材料、自旋电子器件及相关技术领域的电学和磁学性能，可提供不高于330 mT的一维面内磁场环境，并进行高精度的直流/射频测量。
参数介绍
| 型号 | DX1PS3 |
| 磁场方向 | 面内 |
| 磁场强度 | 平面磁场：330mT@10mm气隙 |
| 气隙是否可调 | 否 |
| 样品尺寸 | 12英寸晶圆（向下兼容碎裂测试） |
| 探针类型及数量 | 直流探针（4个一组）或微波探针（4个一组） |
| 样品台参数 | XY电动控制行程±150mm，调节精度2um；T轴手动调节±5°，最小调节精度5° |
| 显微镜类型 | 单目显微镜 |
| 产品描述 | ▹ 平面/垂直磁场探针台，除磁体外，结构通用性设计磁场均匀性±1%@d1mm； |
| ▹ 实时监测并反馈磁场强度，监测精度优于1%，磁场分辨率优于0.02mT； | |
| ▹ 最多可容纳12英寸晶圆，并向下兼容8英寸和6英寸芯片； | |
| ▹ 最多兼容4组探针（射频或直流测试）； | |
| ▹ 提供Z轴测头平台快速升降功能，实现高效测试。 | |
| 设备可提供升级点 | Z轴测头平台手动升降功能可升级为电动升降。 |
DX1PS3晶圆级全自动面内磁场探针台
测试软件界面
物料清单
| 序号 | 物料名称 | 规格型号 | 数量 |
| 1 | 木箱A | 出口用三合木 | 1只 |
| 3 | 探针台主机 | 内部集成部件如下： 1、330mT面内场电磁铁； 2、行程300mm的X轴自动/手动一体位移台； 3、行程300mm的Y轴自动/手动一体位移台； 4、行程10mm的Z轴自动/手动一体位移台； 5、12寸样品台chuck吸盘； 6、显微镜升降调节支架。 |
1台 |
| 4 | 磁铁电源 | 输入电压单相220V-50/60Hz； 输出电压±20A，输出电流±40V |
1台 |
| 5 | 探针座 | X/Y/Z行程均为±6mm，调节分辨率±1微米，真空吸附 | 4套 |
| 6 | 探针夹具 | 漏电精度达10pA，最大电流1A，耐压700V，最高频率1MHz，1.5m三同轴电缆线，BNC标准接口,同轴公接头 | 4套 |
| 7 | 直流探针 | 针尖直径0.5微米，可测最大直流1A | 20只 |
| 8 | 控制电脑 | DELL牌，I5CPU，内存16G，256G固态硬盘+1T机械硬盘，23.8寸显示器，英文版windows系统，预装探针台测量软件。 | 1台 |
| 9 | 无油真空泵 | VP0125，输入电压单相220V-50/60Hz，流量7L/min | 1台 |
| 10 | 单筒显微镜 | 输入电压单相220V-50/60Hz，高清成像连续变倍且无需改变工作高度，同轴光照明，工作距离>80mm，3mm微调焦，更大放大倍率0.75X~5X，相机帧率30帧，USB2.0输出，500万像素，支持手动/自动RGB 调节白平衡，13英寸显示器。 | 1台 |
| 11 | 气浮平台 | 台面尺寸800*1200，含气泵，输入电压单相220V-50/60Hz | 1套 |
| 12 | 水冷机 | 输入电压单相220V-50/60Hz，制冷量1200W | 1台 |
| 13 | 冷却液 | 25千克 | |
| 14 | 显微镜校准工装 | 1件 | |
| 15 | 产品说明书 | 1份 | |
| 16 | 发货清单 | 1份 |
